下载一种适用于单晶小硅块的切割方法的技术资料

文档序号:28601301

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本发明公开了一种适用于单晶小硅块的切割方法,先将至少两个单晶小硅块拼接成单晶大硅块,再将单晶大硅块粘贴在工件板上进行切割得到硅片,其特征在于:所述单晶大硅块和所述工件板之间设置有胶带。本发明的单晶小硅块的切割方法,利用有机硅压敏胶带将拼接后...
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