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本发明公开了一种可改善单片清洗固体结晶物堆积的装置及湿法清洗设备，所述装置包括清洗机构和用以带动清洗机构上下移动和在圆周方向旋转的顶升旋转机构，所述清洗机构包括套设在顶升旋转机构上的晶圆定位组件以及扣合固定在晶圆定位组件上的管件外壳，所述管...该专利属于至微半导体(上海)有限公司;江苏启微半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过至微半导体(上海)有限公司;江苏启微半导体设备有限公司授权不得商用。