下载一种晶圆棒拼接用涂胶模板及其涂胶方法的技术资料

文档序号:28596331

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本发明提供一种晶圆棒拼接用涂胶模板及其涂胶方法,包括本体,本体与晶圆棒结构相适配;本体侧面设有切割区,切割区将本体侧面分割成主区和副区,主区位于切割区内侧,副区位于切割区外侧,切割区和主区均与本体同轴设置;主区至少包括一个主涂胶区,主涂胶区...
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