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本实用新型涉及一种晶圆托盘组件及等离子体加工设备，晶圆托盘组件包括托盘、放置平台和扩散件，放置平台设置在托盘上，放置平台设有第一数量的冷却气体通道；扩散件设置在放置平台上，并包括相背的第一表面和第二表面，第一表面开设有第一数量的第一通气孔，...
该专利属于重庆康佳光电技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆康佳光电技术研究院有限公司授权不得商用。

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