温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种制造多个特别是气密密封的功能组件的方法，具有下列步骤：提供具有多个功能组件的第一晶圆，提供第二晶圆，将形式为多个框架结构的密封材料施覆至该第二晶圆的第一表面上，将第二晶圆安置至第一晶圆上或将第一晶圆安置至第二晶圆上，将第一晶圆...
该专利属于霍斯特·西德勒两合公司所有，仅供学习研究参考，未经过霍斯特·西德勒两合公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。