温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种声谐振器装置及其方法。该装置包括具有气腔区域的基板构件。压电层耦合到基板构件和气腔区域并且被配置为位于基板构件和气腔区域上面。压电层被配置为其特征在于：x射线摇摆曲线半峰全宽(FWHM)在0度到2度范围内。顶部电极耦合到压电层并且被配置...
该专利属于阿库斯蒂斯有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过阿库斯蒂斯有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。