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本申请实施例公开了一种晶圆夹持装置，包括静电吸盘和接地装置，静电吸盘内部可以形成有静电电极板，静电电极板可以连接直流电源，接地装置可以包括互连的金属接地端和顶部部分，金属接地端用于连接地线，在静电吸盘上固定有晶圆，晶圆上方形成有等离子体时，...
该专利属于中微半导体设备(上海)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备(上海)股份有限公司授权不得商用。

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