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一种用于从检查系统向数据库传送缺陷图像的方法，包括：　　　　识别被载入到检查系统中的光刻部件上的缺陷；　　　　捕获被识别缺陷的图像；　　　　提示操作人员为被识别缺陷选择缺陷代码；以及　　　　响应于操作人员选择缺陷代码，向数据库自动传送捕获的...
该专利属于凸版光掩膜公司所有，仅供学习研究参考，未经过凸版光掩膜公司授权不得商用。

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