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本发明公开了一种用于激光诱导超临界液体烧蚀加工的保护液膜组合物及激光切割工艺，属于半导体加工用化学试剂及加工工艺技术领域。该组合物主要包括能够激光诱导生成超临界液体的基体混合物、冷却剂、润湿剂、消泡剂和水，在使用时该保护液膜组合物被旋涂在材...
该专利属于科纳瑞雅(昆山)新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科纳瑞雅(昆山)新材料科技有限公司授权不得商用。

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