下载一种制备碳化硅粉料的装置及方法的技术资料

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本申请公开了一种制备碳化硅粉料的装置及方法,该装置包括:炉体,炉体内部设置隔板,隔板关闭时,将炉体内部分隔为两部分;隔板打开时,炉体内部连通;电极,电极的表面至少部分覆盖碳源原料;坩埚,坩埚置于炉体内部;坩埚与电极发生相对位移,以使得电极能...
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