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本发明提供了一种半导体工艺的废气处理系统及其废气的处理方法，包括：第一传感器、第一三通阀、燃烧室、水洗支路和水洗室；第一三通阀的第一出口通过燃烧室与水洗室连通，第一三通阀的第二出口通过水洗支路与水洗室连通。本发明提供的半导体工艺的废气处理系...
该专利属于北京京仪自动化装备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术有限公司授权不得商用。

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