下载异常检测装置、异常检测方法以及程序的技术资料

文档序号:28538228

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本发明提供一种能与工具等的个体差异所引起的不均对应的异常检测装置、异常检测方法以及程序。异常检测装置具备:初始阶段检测信息获取部,获取使用一个工具进行的一系列的加工工序中的初始阶段的检测信息;映射函数确定部,确定用于使初始阶段的检测信息映射...
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