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对准装置、对准方法、成膜装置及成膜方法制造方法及图纸
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文档序号:28537793
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本发明提供一种对准装置、对准方法、成膜装置及成膜方法,进一步提高对准装置的对准精度。本发明的对准装置是用于调整基板与掩模的相对位置的对准装置,其特征在于,所述对准装置包括:基板保持器,所述基板保持器保持基板;掩模保持器,所述掩模保持器支承掩...
该专利属于佳能特机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能特机株式会社授权不得商用。
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