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[课题]提供研磨组合物、研磨方法及基板的制造方法。[解决手段]研磨组合物包含研磨磨粒、添加剂分子、pH调节剂及分散介质。研磨磨粒包含二氧化硅颗粒，且二氧化硅颗粒表面的硅烷醇基密度为0～3.0个/nm...
该专利属于福吉米株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过福吉米株式会社授权不得商用。

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