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本实用新型涉及光刻机。所述光刻机可以包括用于电接触式对准的配置，以用于相对于基板使探针、笔、尖端等的阵列调平对准，该光刻机包括机构，该机构用于相对于彼此定位探针阵列或基板，以使探针阵列和基板彼此平行地自动对准，从而用于随后的光刻制造，其中，...
该专利属于泰拉印刷有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过泰拉印刷有限责任公司授权不得商用。

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