下载一种用于托盘连续转运的供料机的技术资料

文档序号:28520181

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本实用新型公开了一种用于托盘连续转运的供料机,供料机用于将半导体晶片输送至大转盘下方,包括托盘上料装置、转入线、转出线,托盘上料装置包括托盘承载装置和托盘移动装置;托盘移动装置包括横向移动总成、纵向移动总成和托盘支架;纵向移动总成设置在横向...
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