下载密封槽及半导体真空设备的技术资料

文档序号:28519928

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本实用新型提供了一种密封槽,所述密封槽的开口端设有压合件,所述密封槽内放置密封圈,所述密封圈高于所述密封槽的顶端面并与所述压合件贴合,所述密封槽的内侧面设有至少一个缓冲部,所述缓冲部向所述密封槽的内侧面内凹陷。本实用新型通过在所述密封槽的内...
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