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一种缓冲腔和晶圆传送系统，缓冲腔包括：缓冲腔室主体；位于所述缓冲腔室主体中的冷却盘，所述冷却盘包括晶圆接触区；位于所述晶圆接触区侧部且贯穿所述冷却盘的位移口；升降单元，所述升降单元包括位于所述缓冲腔室主体中的支撑组件，所述支撑组件适于支撑晶...
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