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一种腔内晶圆寻心系统，包括：主体腔；位于主体腔内的晶圆夹持平台，晶圆夹持平台的表面适于放置晶圆；贯穿晶圆夹持平台的若干位移孔；分别位于位移孔中的顶针，顶针适于在位移孔中往复移动，使顶针的顶头在高于晶圆夹持平台的上表面的位置至低于晶圆夹持平台...
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