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一种基于超表面光学天线的超宽谱红外信号探测器制造技术
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下载一种基于超表面光学天线的超宽谱红外信号探测器的技术资料
文档序号:28517529
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本实用新型公开了一种基于超表面光学天线的超宽谱红外信号探测器,属于信号探测技术领域,包括衬底、掺杂层、二氧化硅层、超表面光学天线层、欧姆电极、肖特基电极和普通电极;其中,超表面光学天线层由一个宽度为0.5~5mm的金属纳尖阵列构成,金属纳尖...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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