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用于放置辅助特征的方法和装置制造方法及图纸
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文档序号:2851519
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本发明的一个实施例提供了一种在一个布局中确定放置辅助特征的位置的系统。在操作过程中,所述系统接收一个集成电路布局。然后,所述系统在该布局中选择一个求值点。所述系统然后在该布局中选择一个候选位置,用于放置辅助特征。接下来,所述系统以迭代方式执...
该专利属于新思公司所有,仅供学习研究参考,未经过新思公司授权不得商用。
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