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溅射镀膜设备及其固定结构制造技术
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文档序号:28513764
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本实用新型公开了一种溅射镀膜设备及其固定结构,固定结构用于将溅射镀膜设备的相互套接的第一构件和第二构件锁紧,其包括:开设在第二构件的用于套装在第一构件内的一部分上的盲孔,盲孔的开口位于所述一部分的外壁且沿着第二构件的径向朝内延伸;安置在第二...
该专利属于北京格微仪器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京格微仪器有限公司授权不得商用。
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