下载溅射镀膜设备及其固定结构的技术资料

文档序号:28513764

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本实用新型公开了一种溅射镀膜设备及其固定结构,固定结构用于将溅射镀膜设备的相互套接的第一构件和第二构件锁紧,其包括:开设在第二构件的用于套装在第一构件内的一部分上的盲孔,盲孔的开口位于所述一部分的外壁且沿着第二构件的径向朝内延伸;安置在第二...
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