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本发明是一种等离子表面清洁装置，包括主机体，所述主机体一侧设有真空泵组，所述主机体两端还设有惰性气体箱及活性气体箱，所述惰性气体箱与所述活性气体箱一侧分别设有高压电源及电控箱，所述惰性气体箱与所述活性气体箱通过管道与所述主机体相通，所述主机...
该专利属于东莞市峰谷纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市峰谷纳米科技有限公司授权不得商用。

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