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本公开提供的一种马赫曾德尔干涉仪，包括：两根输入波导，用于输入宽光谱光信号；第一多模干涉耦合器，用于将宽光谱光信号分为两个分量光束；两根相移波导，用于使两个分量光束分别在两根相移波导中传播，并产生特定的相位差；第二多模干涉耦合器，用于使产生...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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