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本发明公开一种MEMS扫描镜。该MEMS扫描镜的一具体实施方式包括：反射镜、用于使反射镜绕旋转轴旋转的压电致动器及反射镜偏转角度检测装置，反射镜偏转角度检测装置包括压阻式压力传感器，该传感器包括：第一导电类型导电半导体层；形成在半导体层中具...
该专利属于歌尔股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过歌尔股份有限公司授权不得商用。

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