下载芯片电镀系统及芯片电镀控制方法的技术资料

文档序号:28493040

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本申请提供一种芯片电镀系统及芯片电镀控制方法,涉及集成电路制造技术领域。本申请通过盛液装置的容置槽盛放电镀液,并在容置槽内设置板面与槽底表面平行的推板,安装在盛液装置上的气压缸通过传动杆与推板连接,由气压缸带动推板在电镀液内移动以调节电镀液...
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