下载一种单晶硅片制绒添加剂及其应用的技术资料

文档序号:28492381

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本发明公开了一种单晶硅片制绒添加剂及其应用,该制绒添加剂包括以下原料:非离子表面活性剂、酰胺类化合物、全氟类离子表面活性剂、糖类化合物、没食子酸、乙二醇丁醚和苯甲酸盐;该制绒添加剂能够很好地制备出尺寸均匀,大小范围在2μm~5μm之间的金字...
该专利属于广东省科学院化工研究所所有,仅供学习研究参考,未经过广东省科学院化工研究所授权不得商用。

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