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电流扫描仪单元(32)在一边使加工头相对于金属板(W)相对移动一边对金属板(W)照射激光束来切断金属板(W)时，使激光束振动。集光镜驱动部(340)使向金属板(W)照射的激光束的焦点在与金属板(W)的表面正交的正交方向上移动。焦点位置控制部...
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