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LED阵列制造技术
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文档序号:28491950
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一种制造发光二极管(LED)阵列的方法包括以下步骤:由III族氮化物材料形成半导体层(100);在半导体层上方形成电介质掩模层(104),电介质掩模层具有穿过该电介质掩模层的孔洞的阵列,每个孔洞暴露出半导体层的一区域;并且使在每个孔洞中生长...
该专利属于谢菲尔德大学所有,仅供学习研究参考,未经过谢菲尔德大学授权不得商用。
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