当前位置: 首页 > 专利查询>FEI公司 > 电子显微镜台制造技术 >技术资料下载
下载电子显微镜台的技术资料

文档序号:28490675

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种用于电子显微镜的定位系统,包括:第一托架和第二托架,所述第一托架包括用于固持工件的固持器。所述第一托架联接到一个或多个第一驱动单元,所述一个或多个第一驱动单元被配置成沿第一轴线、第二轴线和第三轴线并且沿第一倾斜轴线定位所述工件。所述第二...
该专利属于FEI公司所有,仅供学习研究参考,未经过FEI公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。