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电子显微镜台制造技术
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文档序号:28490675
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一种用于电子显微镜的定位系统,包括:第一托架和第二托架,所述第一托架包括用于固持工件的固持器。所述第一托架联接到一个或多个第一驱动单元,所述一个或多个第一驱动单元被配置成沿第一轴线、第二轴线和第三轴线并且沿第一倾斜轴线定位所述工件。所述第二...
该专利属于FEI公司所有,仅供学习研究参考,未经过FEI公司授权不得商用。
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