下载贴合基板的分断方法以及应力基板的分断方法的技术资料

文档序号:28490410

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本发明提供贴合基板的分断方法以及应力基板的分断方法。提供将在基底基板粘贴热收缩率不同的树脂的基板适合且确实地分断的方法。具备:粘贴工序,通过从一方主面侧按压贴合基板并使基底基板的另一方主面与水平张紧设置的保持胶带接触,来使贴合基板变形成平坦...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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