温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种麦克风设备包括基底和微机电系统(MEMS)换能器以及设置在基底上的集成电路(IC)。该麦克风设备还包括盖，该盖安装在基底上并覆盖MEMS换能器和IC。MEMS换能器包括附接至基板的表面的振膜以及安装在基板上并与振膜成间隔开的关系的背板。...
该专利属于美商楼氏电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过美商楼氏电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。