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本实用新型公开了一种用于晶圆清洗机的清洗盘，包括底座、弧形块、摆夹和真空吸盘，所述底座上表面设置有若干个等圆心角弧形槽，所述弧形槽包括最内侧一圈的第一弧形槽、最外侧一圈的第三弧形槽和中间一圈的第二弧形槽，所述真空吸盘下端面上绕轴心圆形分布设...
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