下载一种超高精度晶片厚度检测机构的技术资料

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本实用新型公开了一种超高精度晶片厚度检测机构,包括台面,所述台面的上表面一侧设置有检测器,所述检测器的上方设置支架,所述支架下设置红外检测单元,所述检测器设置电线连接所述红外检测单元,所述红外检测单元的下方设置有吸盘托台,所述吸盘托台的高度...
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