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一种三维存储器及其制作方法技术
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文档序号:28477230
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本发明涉及一种三维存储器及其制作方法,包括:形成外围电路芯片和多个存储阵列芯片,外围电路芯片包括第一衬底和形成于第一衬底上的第一互连层,每个存储阵列芯片包括多个功能结构;将多个存储阵列芯片进行键合,得到存储阵列组合结构;形成多个互连导接柱,...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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