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发光二极管的外延片及其制备方法技术
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文档序号:28472452
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本公开提供了一种发光二极管的外延片及其制备方法,属于光电子制造技术领域。该制备方法包括:提供一衬底;在衬底上依次外延生长高温AlN缓冲层、过渡层、n型AlGaN层、多量子阱层和p型层,过渡层为周期性结构,周期性结构包括交替层叠的AlN层和A...
该专利属于华灿光电(浙江)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华灿光电(浙江)有限公司授权不得商用。
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