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本发明提供一种晶圆自动对针装置及方法，包括：由镜头表面有十字丝标志的相机组成的图像采集组件、通过光栅尺进行定值运动的运动组件、数据处理组件、用于承载待对针晶圆的晶圆托盘、与待对针晶圆进行对针的探针卡；图像采集组件用于采集晶圆托盘、探针卡和待...
该专利属于长春光华微电子设备工程中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长春光华微电子设备工程中心有限公司授权不得商用。

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