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本实用新型公开一种真空溅射沉积装置，包括室体，室体上设置有支撑托架，支撑托架上设置有绝缘衬套，绝缘衬套的一侧设置有背板，背板远离绝缘衬套的一侧设置有靶材，绝缘衬套内嵌设有加强板，加强板上开设有第一螺纹孔，绝缘衬套上开设有与第一螺纹孔连通的第...
该专利属于乐金显示光电科技（中国）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过乐金显示光电科技（中国）有限公司授权不得商用。

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