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本实用新型提供了一种吹气管、吹气式液位计和硅片清洗装置，吹气管包括管体，管体的一端设有进气口，管体的另一端设有出气口，出气口沿管体的径向向外突出设置。吹气式液位计包括上文的吹气管。硅片清洗装置包括用于清洗硅片的内槽、用于盛接由内槽中溢出的清...
该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。

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