下载一种带有保护结构的SiCMOSFET器件的技术资料

文档序号:28453313

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本实用新型涉及半导体技术领域,尤其是涉及一种带有保护结构的SiC MOSFET器件,所述SiC MOSFET器件从边缘向中心依次包括终端区和划片槽区、p+主环、在所述p+主环上的栅跑道和源跑道、由多个原胞结构并联组成的有源区以及所述有源区上...
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