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一种半导体电镀设备的电镀槽制造技术
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下载一种半导体电镀设备的电镀槽的技术资料
文档序号:28452195
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本实用新型涉及一种半导体电镀设备的电镀槽,包括槽体,槽体内设有溶液控制装置,溶液控制装置包括主体和进液管,进液管插设在主体中,所述主体包括进液通道和抽液通道,进液通道与抽液通道间隔设置,抽液通道和进液通道与槽体连通,所述进液管具有连通部,进...
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