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检查装置、检查系统以及检查方法制造方法及图纸
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文档序号:28450218
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本发明提供一种能够提高实际产品的可靠性的检查装置、检查系统以及检查方法。系统控制器(11)通过在环境形成装置(3)对电路基板(X)施加规定的环境压力的状态下,让测试控制器(13)执行对电路基板(X)的边界扫描测试,从而对电路基板(X)多次执...
该专利属于爱斯佩克株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过爱斯佩克株式会社授权不得商用。
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