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本实用新型公开了一种用于蜡层的检测处理设备，包括施蜡装置和机台，施蜡装置设置在机台上，通过施蜡装置将蜡滴落在抛光盘的表面，通过设置在机台上的驱动机构驱动抛光盘旋转，使得抛光盘的表面形成蜡层。检测处理设备还包括：图像采集系统和图像分析系统，图...
该专利属于徐州鑫晶半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过徐州鑫晶半导体科技有限公司授权不得商用。

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