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激光晶化装置制造方法及图纸
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下载激光晶化装置的技术资料
文档序号:28449600
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实施例的激光晶化装置可包括:激光发生部,用于输出第一激光束和第二激光束;匀化部,用于接收由所述激光发生部输出的所述第一激光束和所述第二激光束并使之匀化;光学系统,用于接收经过所述匀化部的所述第一激光束和所述第二激光束并使之光转换;以及基板收...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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