下载多层层叠膜的技术资料

文档序号:28448543

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第1层的光学厚度的层厚度分布具有第一单调增加区域,并且所述第一单调增加区域包括其中最大光学厚度高达100nm的1A单调增加区域以及其中最小光学厚度为大于100nm的1B单调增加区域,并且所述1B单调增加区域中的斜率1B相对于所述1A单调增加...
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