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本实用新型为了克服现有技术中石英舟或碳化硅舟无法适应高标准硅片的生产需要，化学药剂固定的硅舟部件结合方式存在污染硅片的风险，以及简单接触式固定的硅舟结构不稳定的技术问题，提供一种螺纹立式组装硅舟，包括：安装板，安装板包括天板和法兰，天板和法...
该专利属于杭州盾源聚芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州盾源聚芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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