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本实用新型涉及一种晶圆制造装置。该晶圆制造装置包括安装座，安装座用于承载晶圆；第一移动组件，第一移动组件包括第一支撑板和第一直线电机模组，安装座安装于第一支撑板背离第一直线电机模组的一侧，第一直线电机模组用于驱动第一支撑板沿第一方向移动；第...
该专利属于深圳市联得自动化装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市联得自动化装备股份有限公司授权不得商用。

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