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本实用新型公开一种真空室,包括防护挡板和真空泵,防护挡板包括挡板本体和至少两个接头组件,挡板本体由紧固件固定在真空室内部,真空泵位于挡板本体的正下方,挡板本体内部开设有供冷却介质流通的流道,接头组件设置在挡板本体的一侧并与流道连通,接头组件...该专利属于乐金显示光电科技(中国)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过乐金显示光电科技(中国)有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开一种真空室,包括防护挡板和真空泵,防护挡板包括挡板本体和至少两个接头组件,挡板本体由紧固件固定在真空室内部,真空泵位于挡板本体的正下方,挡板本体内部开设有供冷却介质流通的流道,接头组件设置在挡板本体的一侧并与流道连通,接头组件...