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本发明涉及一种半导体晶片用干燥机的导向装置，为了对用去离子水清洗的经过洗涤溶液等化学溶液处理的半导体晶片进行干燥，在为进行马兰哥尼干燥而以升降的形式从冲洗用槽移动至干燥用槽时，为了防止在使用弯曲较大的3D工艺较多的存储器设备的工艺或晶片再生...
该专利属于爱捷株式会社;赵仁淑所有，仅供学习研究参考，未经过爱捷株式会社;赵仁淑授权不得商用。

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