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本实用新型公开了一种内壁镀膜用微波等离子体化学气相快速沉积系统。所述内壁镀膜用微波等离子体化学气相快速沉积系统，包括：多个真空抽气及充气组件，位于所述多个真空抽气及充气组件上方的微波组件；所述真空抽气及充气组件为可移动真空抽气及充气组件，用...
该专利属于深圳市八六三新材料技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市八六三新材料技术有限责任公司授权不得商用。

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